走査型デュアルモノクロＸ線源
走査型デュアルX線源の動作原理図を示しています。硬X線（Cr Kα線）と軟X線（Al Kα線）は、ソフトウェア上で短時間のうちに切り替えることが可能です。
シンプルなコンソール
PHI Quantes は、分光器や試料搬送系、各種励起源をひとつのチャンバーに組み込み、さらに制御電源もひとつのコンソールにまとめました。真空内のコンポーネントは、先進的なロボティクスを利用して完全な自動運転を実現しています。
関連装置 リンク
X線光電子分光分析装置 XPS
走査型デュアルモノクロX線を搭載した PHI Quantes
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